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真空系統中有哪幾種壓力參數?

發布日期:2019-04-30 作者:admin 點擊:

真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼,真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備大金彩票网址导航,它不見得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空系統的肯定是各種零部件齊全。

真空機組

而壓力參數在真空系統中隨處可見大金彩票网址导航,指的是氣體對于固體或者液體表面的垂直作用力大金彩票网址导航,且在真空系統中它是與壓強同義的。


比較常見的壓力參數自然是極限壓力:極限壓力是真空系統中真空泵性能的主要參數之一。通俗的理解就是真空系統抽氣過程中,經過長時間抽氣大金彩票网址导航,當真空泵或真空機組的抽速為0或者說真空室的壓力參數一直維持在某一定值時,那就是真空泵或者真空機組的極限壓力了。

真空系統

其次是基礎壓力:在某些工藝領域或者技術人員口中大金彩票网址导航,基礎壓力也叫本底壓力,指的是生產工藝開始實施時真空室的壓力。例如磁控濺射應用可能需要將本地壓力抽至10-4Pa,而濺射過程的工作壓力可能在1Pa左右。


工作壓力:工作壓力就是企業生產過程中,為保證工藝實施及產品質量所必需的壓力參數。真空設備選型過程中,為滿足工藝要求,設備的極限壓力都會低于工作壓力一個數量級左右大金彩票网址导航。

真空系統

殘余壓力:殘余壓力某些時候其實和極限壓力一樣大金彩票网址导航,是指經過真空泵或者真空機組一段時間的抽氣作業后,真空室中殘存氣體的全壓。如果此時的真空系統已經沒有抽速了,那殘余壓力就是真空泵或者真空機組的極限壓力大金彩票网址导航。


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